Poster De Conférence
Année : 2021
Maxime Mikikian : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://univ-orleans.hal.science/hal-03431563
Soumis le : mardi 16 novembre 2021-17:31:32
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:24
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03431563 , version 1
Citer
Erik von Wahl, Ianis Ellien, Thomas Lecas, Maxime Mikikian. Parametric study of methane dissociation and deposition rates in a Ar/CH4 RF plasma. Journées 2021 du GDR EMILI, Oct 2021, Palaiseau, France. ⟨hal-03431563⟩
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