Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging - Université d'Orléans
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging

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Sciences de l'ingénieur [physics]
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Alain BOSSEBOEUF  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03836067

Soumis le : mardi 1 novembre 2022-18:01:23

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-13:34:11

Archivage à long terme le : jeudi 2 février 2023-18:25:00

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Dates et versions

hal-03836067 , version 1 (01-11-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03836067 , version 1

Citer

Sylvain Lemettre, Clément Bessouet, Charlotte Kutyla, Alain Bosseboeuf, Philippe Coste, et al.. Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging. 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan. ⟨hal-03836067⟩

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