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Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging

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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03836067 , version 1 (01-11-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03836067 , version 1

Citer

Sylvain Lemettre, Clément Bessouet, Charlotte Kutyla, Alain Bosseboeuf, Philippe Coste, et al.. Integration of Zr-V getter films in MEMS packaging. 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan. ⟨hal-03836067⟩
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