Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors - Université d'Orléans
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors

Charlotte Kutyla
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  • PersonId : 1180737
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Clément Bessouet
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Sylvain Lemettre
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Laetitia Leroy
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Philippe Coste
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  • PersonId : 1180734
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Alain Bosseboeuf
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Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Johan Moulin
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  • PersonId : 1083351
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
Thierry Sauvage
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Aurelien Bellamy
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  • PersonId : 1180748
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Olivier Wendling
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180747
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
Piyush Jagtap
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  • PersonId : 1326905
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Olivier Thomas
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Stephanie Escoubas
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Christophe Guichet
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  • PersonId : 1180749
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Domaines

Matériaux

Clément Bessouet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04365009

Soumis le : mercredi 27 décembre 2023-16:17:23

Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04365009 , version 1 (27-12-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04365009 , version 1

Citer

Charlotte Kutyla, Clément Bessouet, Sylvain Lemettre, Laetitia Leroy, Philippe Coste, et al.. Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors. Journées Nationales des Technologies Emergentes (JNTE), Nov 2022, Besançon, France. ⟨hal-04365009⟩

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